晶片式微流量（流速）感測系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

089127551

專利證號

I 137979

專利獲證名稱

晶片式微流量（流速）感測系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2001/07/11

技術說明

本發明係有關一種利用微機電系統(MEMS)製程技術所設計及製作出 之具高靈敏度之晶片式微流量（流速）感測系統，係將一組微型電 阻與微型平面入射噴流及V型平板系統均整合於晶片上而構成微量流 體之流量（流速）感測系統，其透過一組微型電阻偵測微量流體以 平面入射噴流（Planar Impinging Jet）方式撞擊至V型平板時所產 生之規則性搖擺運動而造成的電阻變化，進而得知擺動頻率（ƒF） 以推算出微量流體之流量（流速），可免除雜訊帶來之干擾，具有 高靈敏度，以應用於微量流體之精密量測。

備註

本部(收文號1030032705)同意該校103年5月7日1034500281號函申請終止維護專利(成大) 為了系統規則多打I

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