光罩抗反射層結構

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

090001

專利證號

150177

專利獲證名稱

光罩抗反射層結構

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2002/02/01

技術說明

本發明揭示一種利用Fabry-Perot結構作為光罩的抗反射層，其係由金屬頂層/透光層/金屬 底層之堆疊式結構所構成。本發明之抗反射層結構具有高品質，可適用於先進深紫外光與真 空紫外光光罩抗反射層使用，並藉由調整抗反射層的膜材與厚度，吾人可輕易在所需要的曝 光波長調整出最小反射率。此外，由於本發明之抗反射層具有金屬頂層，因此可有效減輕光 罩製作時的電荷累積效應。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

02-66300686

網址