具有非晶形矽氫感測膜之ＩＳＦＥＴ的遲滯與時漂量的量測方法及其裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

089119028

專利證號

147871

專利獲證名稱

具有非晶形矽氫感測膜之ＩＳＦＥＴ的遲滯與時漂量的量測方法及其裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立雲林科技大學

獲證日期

2001/12/11

技術說明

本發明係揭露了一種具有非晶形矽氫感測膜之ISFET的遲 滯與時漂量的量測方法及其裝置，係利用一電壓-時間記 錄器分別量測並計算出元件之遲滯與時漂量，並針對實 驗結果建立出一套屬於具有非晶形矽氫感測膜之ISFET之 遲滯與時漂的模型及量測裝置，以便於對一般實驗之輸 出做反向補償，因此可得到更接近準確值之量測結果。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財管理組

連絡電話

(05)5342601轉2521

網址