以離子束輔助連續式二氧化碳雷射蒸鍍硒化鋅薄膜於石英玻璃上之方法及其用途

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

088110251

專利證號

I 152947

專利獲證名稱

以離子束輔助連續式二氧化碳雷射蒸鍍硒化鋅薄膜於石英玻璃上之方法及其用途

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2002/07/22

技術說明

本發明主要揭示一種連續式二氧化碳雷射及離子輔助系統，於基板上蒸鍍成長硒化鋅薄膜之方法，以製造光學多層膜及抗反射鍍膜，該製造方法適用於石英玻璃及砷化鎵基板，硒化化鋅(ZnSe)基板，或是藍寶石基板，並且在此等基板上成長硒化鋅薄膜、氮化鎵薄膜．運用本發明之連續式二氧化碳雷射及離子輔助系統，於基板上蒸鍍成長硒化鋅薄膜之方法，製造之光學多層膜及抗反射鍍膜，可作為藍光發光元件。本發明係以連續式二氧化碳雷射照射由多晶顆粒狀硒化鋅(99.99%)壓成的靶材，加熱後蒸鍍於砷化鎵(100)和石英玻璃基板上，並以氬離子束輔助成長。 ELECTROSPINNING EQUIPMENT AND THE METHOD THEREON

備註

本部(收文號1050070266)同意該院105年8月23日國研業字第1050102309號函申請終止維護專利 系統多填I

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