銅導線的製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

089111027

專利證號

142284

專利獲證名稱

銅導線的製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2001/08/21

技術說明

本發明提供一種銅導線的製造方法，其包括：於已形成溝槽之介電層上，形成順應性的阻障 層後，覆蓋一層矽層，再剝除部份矽層，使矽層僅填入溝槽中，隨後進行接觸置換反應，使 矽層轉為銅導線。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

02-66300686

網址